Kombinovaná analýza procesoru ve spolupráci s firmou TESCAN

Na konferenci IPFA (26th IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits) ve dnech 2.-5. července 2019 byl prezentován společný projekt naší laboratoře s firmou TESCAN nazvaný “Hloubková analýza 10 nm Epoxynos procesoru pomocí mikroCT a FIB-SEM systému”. Projekt se zaměřuje na zobrazení Exynos procesoru nejprve nedestruktivně pomocí mikroCT celého vzorku. Tím se získá celkový přehled o vnitřní struktuře. MikroCT bylo poté doplněno technikou FIB-SEM (fokusovaný iontový svazek – rastrovací elektronový mikroskop) na vybraném místě na vzorku. Tento přístup umožňuje reverzní inženýrství různých elektronických součástek i spolehlivé určení umístění i analýzu vad.